扫描电镜分辨能力评估方法、装置、计算机设备及存储介质

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扫描电镜分辨能力评估方法、装置、计算机设备及存储介质
申请号:CN202510380474
申请日期:2025-03-27
公开号:CN120339147A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供了扫描电镜分辨能力评估方法、计算机设备及存储介质。该方法包括:获取待评估扫描电镜对样品的扫描图像;利用图像增强模型对所述扫描图像进行图像增强处理,以得到增强后的扫描图像;通过增强后的扫描图像评估所述待评估扫描电镜的分辨能力。该方法一方面采用样品作为待评估扫描电镜的扫描对象,利用介孔分子筛的材料性质来提高评估结果的准确性,另一方面由于是通过增强后的扫描图像,来评估该待评估扫描电镜的分辨能力,该增强后的扫描图像相对于增强之前的扫描图像而言,图像质量更高,因此通过增强后的扫描图像评估待评估扫描电镜的分辨能力,显然也能够提高评估结果的准确性。
技术关键词
扫描电镜 孔道 图像增强模型 原始图像数据 计算机可读指令 能力评估方法 样本 标签 计算机设备 尺寸 边缘检测算法 介孔分子筛 图像评估 可读存储介质 间距 基础 处理器 误差