一种紧凑式双波长共通路全息显微镜

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一种紧凑式双波长共通路全息显微镜
申请号:CN202510382729
申请日期:2025-03-28
公开号:CN119960279A
公开日期:2025-05-09
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种紧凑式双波长共通路全息显微镜:两个激光光源发射的激光束分别经过准直扩束系统和偏振片调制为垂直偏振态激光束和水平偏振态激光束;再经过第一非偏振分光棱镜和第二非偏振分光棱镜合束,并经过板式分束镜分成物光和参考光;物光经过显微物镜照射样品;参考光为经过板式分束镜的反射光;两个波长下的激光束在经过偏振分光棱镜后完成分离,每个波长下的参考光和物光分别进行干涉,并由图像传感器记录全息图像。本发明实时快速,布置紧凑,具有高抗振能力和高时间稳定性的特点,参考光和物光、两个波长的光束通过简单的光学元件和调整方式来进行分离和角度调整,对于精密结构的形貌表征和高精度动态成像具有明显的优势。
技术关键词
全息显微镜 偏振分光棱镜 相位解包裹算法 波长 扩束系统 激光光源 激光束 偏振态 相位恢复算法 包裹相位 记录全息图 偏振片 控制图像传感器 补偿算法 特征匹配算法 物镜 样品台 精密结构