一种晶圆推力截面分类检测方法、系统、设备及存储介质

本发明提供一种晶圆推力截面分类检测方法、系统、设备及存储介质，涉及晶圆封测领域，所述方法流程为：基于目标检测模型初步获取晶圆推力截面的类别；如果晶圆推力截面的类别为晶体残留，则对晶圆封装图像进行图像截取，以得到晶圆区域图像；对晶圆区域图像进行像素分割和面积计算，以获取截面正常面积；对晶圆区域图像进行边缘轮廓提取、图像拟合以及面积计算，以获取截面拟合圆面积；计算截面正常面积和截面拟合圆面积的面积比值，并且基于面积比值二次获取晶圆推力截面的类别。本发明采用目标检测、图像分割以及图像拟合相结合的方式进行晶圆推力截面分类检测，解决了现有晶圆推力截面分类检测准确度不高、适用性较差，容易出现误检的问题。