一种压电传感薄膜的制备方法及制备装置

本申请提供了一种压电传感薄膜的制备方法及制备装置，可应用于材料科学与工程技术领域，该方法包括：提供纳米级压电SiC粉末和沉积有下电极的柔性高分子基底；对纳米级压电SiC粉末进行混合分散处理，形成悬浮液；将悬浮液涂覆至柔性高分子基底上，形成薄膜，并在薄膜上制备上电极，形成初始薄膜结构；对初始薄膜结构依次进行固化处理和极化处理，进而得到压电传感薄膜。最后结合人工智能对所述压电传感薄膜的性能进行分析，并根据分析结果对制备参数进行优化。如此，利用SiC材料在宽温域的稳定压电性能来制备压电传感薄膜，并结合人工智能进行性能分析进而对制备参数进行优化，实现薄膜制备的可重复性，并提高了压电传感薄膜的性能。