台面型碲镉汞焦平面红外探测器器件结构及制备方法

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台面型碲镉汞焦平面红外探测器器件结构及制备方法
申请号:CN202510470825
申请日期:2025-04-15
公开号:CN120512940A
公开日期:2025-08-19
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种台面型碲镉汞焦平面红外探测器器件结构及制备方法,涉及半导体技术领域,器件结构包括:碲镉汞芯片(006),其上包括阵列排布的棱台形的台面结构,一个台面结构对应于一个台面像素,所述台面结构的表面覆盖有钝化层(005),以及,在所述台面结构的上表面设置有电极结构(003),所述电极结构(003)通过第一通孔穿过钝化层与所述碲镉汞芯片(006)形成欧姆接触,所述台面结构上设置有金属电极;读出电路(001),通过铟柱(002)与碲镉汞芯片(006)互连。本申请利用像元侧壁的金属结构隔绝折射反射造成的光学串音,通过刻蚀台面结构降低串音。
技术关键词
红外探测器器件 台面结构 碲镉汞芯片 多层复合结构 读出电路 磷硅玻璃 正面电极结构 刻蚀损伤层 铟柱 通孔 碲镉汞材料 碲化镉 金属电极 PN结 硫化锌 涂覆光刻胶 二氧化硅