一种半导体加工用焊接对准装置

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一种半导体加工用焊接对准装置
申请号:CN202510474777
申请日期:2025-04-16
公开号:CN120002123B
公开日期:2025-07-15
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体加工用焊接对准装置,涉及半导体加工技术领域,包括工作台、旋转台、上料机构以及焊接机构,所述旋转台上圆周设置有数个置物组件和转位组件,所述置物组件包括放置台,所述放置台外围开设有一圈气口,各所述气口连接有气室,所述放置台中部开设有空槽,所述空槽底部设置有三通阀,所述三通阀上分别设置有接口一、接口二以及接口三,所述接口一连通空槽,所述接口二连通气室,所述接口三外接气泵,所述空槽内设置有伸缩块,所述伸缩块与所述空槽之间连接有弹簧一。本发明提高了基板双面焊接芯片的便利性和质量。
技术关键词
对准装置 驱动模组 焊接机构 旋转台 置物组件 接口 微型电机 三通阀 半导体 基板 上料组件 上料机构 芯片 物料传送带 两轴 夹板 焊接头 抽气装置 气室 振动盘