一种温度预警的电沉积系统及温度预警方法

本发明提供了一种温度预警的电沉积系统及温度预警方法，电沉积系统包括至少两个电解槽，每个电解槽内分别独立地设置有伸入电解槽内电解液中的至少一组并排排列的极板组，极板组包括并排排列的阴极板与阳极板，每个阴极板上分别独立地连接有一根铜棒；电沉积系统还包括温度测量装置与预警装置，温度测量装置用于测量所有铜棒的温度，并将每根铜棒对应的温度数据传输给预警装置。电沉积系统中进行电沉积时，温度测量装置可以对所有铜棒的温度进行监测，当铜棒的温度异常时，即可判断出此铜棒对应的阴极板的电沉积异常，从而由预警装置发出警报，并指示出发生温度异常的铜棒的位置，于是便可及时采取措施，降低了沉积产物的质量变差的风险。