摘要
本发明公开了基于金属网格铜的智能超表面器件的制备，该智能超表面结构包括透明基底，由透明柔性材料构成；金属网格铜透明电极层，通过黄光蚀刻工艺在所述透明基底表面形成周期性网格结构；功能单元层，集成于金属网格铜透明电极层上，包括电磁调控单元；控制电路层，与功能单元层电性连接；本发明通过金属网格铜透明电极层采用黄光蚀刻工艺形成周期性网格结构，具有较高的透光率和较低的方阻，有效解决金属薄膜结构光学不透明的问题，适用于需要兼顾光电功能的场景，采用透明柔性材料作为基底，并通过低温工艺制备金属网格铜透明电极层，提高器件的机械柔韧性，满足曲面集成需求，解决氧化铟锡透明电极脆性问题。
