一种芯片切割夹持装置

本发明适用于芯片加工技术领域，提供了一种芯片切割夹持装置，包括切割设备和夹持设备，夹持设备由夹座组件、滑座组件、螺杆调整器和夹持治具组成，夹座组件和滑座组件内均设置有快装机构，夹持治具包括机械夹具、吸附夹具和连接柱，连接柱内部开设有两端贯通的导气槽，导气槽与真空发生器相连，连接柱的一侧垂直设置有限位导槽，连接柱的另一侧开设有平面槽，通过限位凸起、限位导槽、平面槽和快装机构，可以对机械夹具或吸附夹具进行水平方向和垂直方向上的约束，完成对机械夹具或吸附夹具的快速拆装，确保装置同时具备机械夹持和真空吸附的两种夹持功能，扩大装置的夹持范围，使得装置可以对不同固定需求的芯片进行高效且稳定的固定。