一种3D垂直堆叠封装结构的封装工艺

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一种3D垂直堆叠封装结构的封装工艺
申请号:CN202510488970
申请日期:2025-04-18
公开号:CN120376525B
公开日期:2025-12-16
类型:发明专利
摘要
本发明属于芯片堆叠封装技术领域,尤其涉及一种3D垂直堆叠封装结构及其封装工艺,包括基板,基板上粘合有第一芯片,第一芯片两端与基板之间均设有键合线一,第一芯片上粘合有第二芯片,第二芯片两端与基板之间均设有键合线二,第二芯片上粘合有第三芯片,第三芯片两端与基板之间均设有键合线三,基板、第一芯片、第二芯片和第三芯片,两两之间均设有胶层,保证了整体封装结构的稳定性,在第三芯片上端可贴合更多的芯片,实现更多芯片的堆叠,减少了封装面积,适配更小设备的安装。
技术关键词
堆叠封装结构 旋转圆台 封装工艺 旋转上料组件 基板 芯片堆叠封装技术 主体支架 齿轮啮合传动 整体封装结构 侧支撑板 封装台 传动组件 键合设备 三角块 点胶设备 滑柱