一种双光纤干涉臂的倾斜波面红外干涉检测方法

本发明公开了一种双光纤干涉臂的倾斜波面红外干涉检测方法，涉及光学精密测量领域。波长可调谐激光器发出的光经过耦合器分为两束光，一束直接由保偏光纤输出作为参考光，另一束光入射至光纤阵列输出多个具有不同倾角的标准球面波作为测试光，补偿被测面不同区域的表面梯度，从而减小干涉条纹密度。系统的参考臂和测试臂均采用光纤作为理想点源发生器，能够控制点源通断，减少透镜使用引入的系统误差。测试臂光纤出射的光全部作为测试光，提高了点源的利用率，增大了被检面的口径，且无需移动干涉装置便能实现面形检测，减少由于机械移动引入的误差。系统采用红外光作为测量光束提高了动态测量范围，能满足更多梯度变化的大口径元件检测。