一种偏振无关的O Band SOA的制备方法

申请号：CN202510492289

申请日期：2025-04-18

公开号：CN120357275A

公开日期：2025-07-22

类型：发明专利

摘要

本发明涉及一种偏振无关的O Band SOA的制备方法，属于芯片制备领域。所述方法，通过使用张应变量子阱和晶格匹配垒的有源区材料，来获得低偏振相关增益（<1dB)的SOA芯片。本发明制备的偏振无关的SOA芯片不仅容易制备，同时也为后续的封装提供了便捷。

技术关键词

有源区材料电子阻挡层芯片波导欧姆接触层偏振控制器金属沉积覆层掩模增透膜输出光外延电镀光谱仪光刻胶层厚度手摇衬底盐酸