一种多方位驱控微纳米机器人的超声装置及其制备方法

本发明公开一种多方位驱控微纳米机器人的超声装置及其制备方法，涉及微纳米机器人控制技术领域，超声装置包括基底基板和超声波换能器，基底基板包括用于容纳微纳米机器人的第一区域和用于设置超声波换能器的第二区域，至少两个第二区域以第一区域为中心呈辐射状设置，至少两个超声波换能器一一对应的设置于第二区域远离第一区域的一端。通过采用辐射状多换能器布局，以工作区为中心设置多个超声波换能器，形成多声源协同驱动系统，可通过独立调控各换能器的频率、相位及功率实现声场矢量合成，支持行波/驻波模式切换，可生成旋转声场或行波场，显著提升声场均匀性，实现微纳米机器人的精准定位及多自由度操控，保证运动的灵活性和精确性。