一种抗静电的集成电路芯片封装装置

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一种抗静电的集成电路芯片封装装置
申请号:CN202510502626
申请日期:2025-04-22
公开号:CN120048784B
公开日期:2025-07-29
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种抗静电的集成电路芯片封装装置,涉及集成电路芯片加工技术领域,本发明包括工作台、离子风机以及多个芯片本体,还包括:芯片放置部,芯片放置部用于对多个芯片本体进行放置,所述芯片放置部包括安装在工作台上的载体,所述载体上开设有多个与对应芯片本体相配合的对位槽,所述载体上还安装有与多个芯片本体相配合的吸附组件;光刻部,光刻部用于对多个芯片本体进行重布线层处理。优点在于:本发明通过移动罩的下移进程,可自动有序完成对芯片本体的吸附固定、环氧树脂的搅拌、喷涂以及刮平处理,确保了封装过程中芯片本体的稳定性以及环氧树脂填充的均匀性,有效确保了整体封装效果,提高了整体封装效率。
技术关键词
移动罩 存放筒 抗静电 光刻组件 离子风机 工作台 环氧树脂 载体 重布线层 光刻机 集成电路芯片 导向杆 齿圈 驱动组件 导向套 搅拌叶 伺服电机