一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统

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一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统
申请号:CN202510503598
申请日期:2025-04-22
公开号:CN120512459A
公开日期:2025-08-19
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统,涉及半导体制造技术领域。一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制系统,包括有:铜丝键合设备、边缘计算网关、云平台和通信模块。本发明创新性地构建了设备端实时控制、边缘层智能预测与参数动态调整、云端长期优化与专家远程干预相结合的三级协同智能控制体系,结合实时数据与历史数据分级上传与分布式协同控制策略,有效兼顾了数据完整性、实时性、智能化与系统可扩展性,形成面向复杂场景的智能铜丝键合控制整体解决方案。
技术关键词
键合铜丝 设备控制方法 网关 键合设备 显微成像装置 焊点 设备控制系统 缺陷类别 显微图像采集装置 面向全生命周期 设备控制器 剩余寿命预测模型 云平台 分布式协同控制 数据完整性检测 远程协同控制 工艺参数动态 远程访问设备 显微成像模块