一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统
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一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统
申请号:
CN202510503598
申请日期:
2025-04-22
公开号:
CN120512459A
公开日期:
2025-08-19
类型:
发明专利
摘要
本发明公开了一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制方法及系统,涉及半导体制造技术领域。一种基于物联网的智能键合铜丝设备控制系统,包括有:铜丝键合设备、边缘计算网关、云平台和通信模块。本发明创新性地构建了设备端实时控制、边缘层智能预测与参数动态调整、云端长期优化与专家远程干预相结合的三级协同智能控制体系,结合实时数据与历史数据分级上传与分布式协同控制策略,有效兼顾了数据完整性、实时性、智能化与系统可扩展性,形成面向复杂场景的智能铜丝键合控制整体解决方案。
技术关键词
键合铜丝
设备控制方法
网关
键合设备
显微成像装置
焊点
设备控制系统
缺陷类别
显微图像采集装置
面向全生命周期
设备控制器
剩余寿命预测模型
云平台
分布式协同控制
数据完整性检测
远程协同控制
工艺参数动态
远程访问设备
显微成像模块