晶圆异常退出芯片异位的处理方法

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晶圆异常退出芯片异位的处理方法
申请号:CN202510515681
申请日期:2025-04-23
公开号:CN120033149B
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种晶圆异常退出芯片异位的处理方法。所述晶圆异常退出芯片异位的处理方法为将胶膜靠边缘一圈从崩膜环上揭起并重新粘贴于崩膜环上。或从胶膜的无胶面,对胶膜位于崩膜环与晶圆之间的环形区域施加压力。本发明提供的所述晶圆异常退出芯片异位的处理方法解决了晶圆二次切割时浪费严重的问题。
技术关键词
胶膜 压圈 晶圆 芯片 环形 夹具 尺寸 通孔
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