基板凸点加工方法、封装基板及封装结构

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基板凸点加工方法、封装基板及封装结构
申请号:CN202510524120
申请日期:2025-04-24
公开号:CN120709158A
公开日期:2025-09-26
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种基板凸点加工方法、封装基板及封装结构,涉及半导体技术领域,该基板凸点加工方法包括:基于基板的翘曲度信息,对基板上涂覆的阻焊层进行阻焊开窗,得到至少两种不同开口尺寸的阻焊开口;分别将每个阻焊开口对应植入焊球,并通过回流焊使植入的焊球与焊盘连接,并对各个焊球对应形成的凸点进行压平处理;在阻焊层所处的基板表面呈凹面翘曲的情况下,中心区域处的阻焊开口的第一开口尺寸,小于第一外围区域处的阻焊开口的第二开口尺寸;或者,在阻焊层所处的基板表面呈凸面翘曲的情况下,第一开口尺寸大于第二开口尺寸。本申请能够优化大尺寸基板上各个凸点之间的共面度。
技术关键词
开口尺寸 凸点 封装基板 植入焊球 阻焊开窗 封装结构 凸面 大尺寸基板 凹面 助焊剂 涂覆 分区 芯片 焊盘 压头 参数 压力