一种集成BIC超构表面激光器的折射率传感芯片

本发明公开了一种集成BIC超构表面激光器的折射率传感芯片，该芯片将垂直腔面发射激光器(VCSEL)与基于BIC理论设计的新型球路纹超构表面集成，利用连续域束缚态理论设计高灵敏度折射率传感器。球路纹结构通过电子束光刻和蒸金‑剥离工艺制备，具有均匀的纳米级图案，能够实现高折射率灵敏度。该芯片可用于生物传感领域。本发明通过优化结构参数和制备工艺，实现了高集成度、高灵敏度的光学传感芯片，为无标记生物检测提供了新的解决方案。