晶圆崩边检测方法、设备及存储介质

本发明公开了一种晶圆崩边检测方法、设备及存储介质，其中方法包括：获取待测晶圆的边缘的全部边缘图像；分别对每张边缘图像中晶圆边缘对应的边缘像素点进行提取，并基于边缘像素点的分布特征确认异常边缘并统计个数；利用边缘像素点的位置确认坐标变化程度超过阈值的像素点，将其作为离群像素点并统计个数；结合异常边缘个数和离群像素点个数分析每张边缘图像中存在异常的晶圆边缘区域占总晶圆边缘区域的比重；当比重超过预设比重阈值时，确认对应的边缘图像存在崩边。本发明通过对待测晶圆的边缘图像进行遍历，初步确认正常边缘和异常边缘，再结合边缘像素点的梯度特征进行精确分析，从而精准、快速地判定待测晶圆是否崩边。