摘要
一种高平面度的半导体芯片贴装方法,它包括以下步骤:包括:S1:检测待贴装基板上表面的第一平面度信息;S2:检测待贴装芯片下表面的第二平面度信息;S3:将第一平面度信息和第二平面度信息进行对比分析,得出第一平面度信息与第二平面度信息之间的平面度偏差信息;S4:根据平面度偏差信息,对待贴装芯片下表面和/或待贴装基板上表面的平面度进行调整;S5:将待贴装芯片贴装到待贴装基板的上表面;其中,步骤S1和步骤S2的顺序可调换。采用上述技术方案具有检测并调整芯片贴装的平面度、提升贴装精度、提高键合质量和芯片性能的优势。