一种高平面度的半导体芯片贴装方法

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一种高平面度的半导体芯片贴装方法
申请号:CN202510534746
申请日期:2025-04-27
公开号:CN120413501A
公开日期:2025-08-01
类型:发明专利
摘要
一种高平面度的半导体芯片贴装方法,它包括以下步骤:包括:S1:检测待贴装基板上表面的第一平面度信息;S2:检测待贴装芯片下表面的第二平面度信息;S3:将第一平面度信息和第二平面度信息进行对比分析,得出第一平面度信息与第二平面度信息之间的平面度偏差信息;S4:根据平面度偏差信息,对待贴装芯片下表面和/或待贴装基板上表面的平面度进行调整;S5:将待贴装芯片贴装到待贴装基板的上表面;其中,步骤S1和步骤S2的顺序可调换。采用上述技术方案具有检测并调整芯片贴装的平面度、提升贴装精度、提高键合质量和芯片性能的优势。
技术关键词
平面度 贴装方法 半导体芯片 基板承载平台 调节螺丝 弹性片 角位台 偏差 模块 测量点 层叠 精度 加热