光刻机的数据管理系统

本申请涉及数据管理技术领域，具体涉及一种光刻机的数据管理系统，包括：数据采集部分，用于基于适于工业软件的数据记录组件记录所采集的数据，以得到数据记录，其中，数据记录包括与预定操作对应的映射诊断上下文信息和/或嵌套诊断上下文信息；数据处理部分，用于从数据采集部分接收加密的数据记录，并进行数据处理，其中，数据处理包括加密的数据记录的过滤和光刻机的分系统风险的预估；以及，数据存储部分，用于存储与数据采集部分和数据处理部分有关的数据。这样，通过采用映射诊断上下文信息/嵌套诊断上下文信息机制、加密数据记录过滤机制和分系统风险预估机制，可以提高光刻机的工业生产效率和稳定性，减少光刻机软件开发成本。