一种基于平面金属光栅的超窄线宽可调波长外腔激光器

本发明涉及半导体激光器技术领域，具体为一种基于平面金属光栅的超窄线宽可调波长外腔激光器，包括：增益芯片，所述增益芯片左右端面分别镀设有高反射膜和第一增透膜；所述增益芯片右侧设置有平面金属光栅波导，所述增益芯片的右端面与所述平面金属光栅波导的左端面对准贴合，所述平面金属光栅波导左右端面分别镀设有第二增透膜和第三增透膜；所述平面金属光栅波导包括光栅波导衬底，所述光栅波导衬底上部设置有背脊光波导，所述背脊光波导上部设置有平面金属光栅，所述平面金属光栅上部设置有顶部覆盖层。本发明通过厘米级金属光栅与低损耗耦合结构，实现3dB线宽＜700Hz及M2＜0.9的光束质量。