摘要
本发明属于轴承位置检测的技术领域,具体是五自由度主被动内转子磁悬浮轴承的位置检测方法,采用单平板电容传感器,布置在磁悬浮轴承的关键位置,利用电容变化检测转子的平移和旋转运动,所述传感器布置在内转子周围,覆盖关键位置,以确保全面检测五个自由度的位置变化;实时采集电容传感器的电容变化信号,并将信号传输至数据处理单元;通从电容变化信号中提取五自由度信息,将提取的五自由度位置信息与主被动磁悬浮控制策略相结合,实时调整电磁力,实现稳定悬浮和精确位置控制;通过实验验证和参数优化,确保系统在不同工况下实现高精度五自由度位置检测和稳定悬浮控制,具有实现高效、高精度的位置检测的效果。