一种抗辐射工艺指纹提取系统、方法及设备

本发明公开一种抗辐射工艺指纹提取系统、方法及设备，涉及半导体辐射效应机理研究与应用技术领域，系统包括：中央控制单元以及与中央控制单元相连的用户交互界面以及COTS器件测试模块，中央控制单元至少包括：抗辐射工艺指纹提取模块、抗辐射工艺指纹数据库建立与存储模块以及待测器件测试方案生成模块；COTS器件测试模块用于对待测器件施加测试激励，向中央控制单元返回测试表征结果。本发明通过该系统对待测的COTS器件进行微观特征表征、电热测试分析、关键节点定位以及器件功能测试，结合抗辐射工艺指纹提取算法的综合分析，实现COTS器件抗辐射工艺指纹的提取，通过电热测试低成本地评估COTS器件抗辐射能力。