一种倒装LED芯片及其制作方法

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一种倒装LED芯片及其制作方法
申请号:CN202510563185
申请日期:2025-04-30
公开号:CN120456673A
公开日期:2025-08-08
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种倒装LED芯片及其制作方法。该方法通过将传统细长型倒装LED芯片设计优化为宽短型结构,并采用细长条形的P/N电极焊盘布局,控制两电极焊盘间距为50–250微米。具体工艺包括在图形化衬底上生长LED外延结构,形成MESA确定芯片尺寸,依次制备透明导电层、介质反射层和金属反射层叠层,提高出光效率;然后沉积双层绝缘钝化层并开窗,制作两级金属电极以形成P/N焊盘。经上述设计,芯片受力分布更均匀,大幅降低固晶封装过程中因应力集中导致的断晶风险,同时适中的焊盘间距避免了连锡短路,显著提升了LED芯片的可靠性和产品良率。
技术关键词
倒装LED芯片 金属电极层 金属反射层 半导体层 焊盘窗口 透明导电层 LED外延结构 芯片结构 衬底上外延生长 N电极焊盘 介质 长条形 细长型 绝缘
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倒装LED芯片 发光结构 保护结构 P型焊盘 电流阻挡层
发光二极管 半导体层 电极 叠层 发光装置
图案化介质 外延结构 半导体层 衬底 氧化硅
突触晶体管 半导体层 栅极 记忆 金属氧化物半导体
半导体桥芯片 多晶硅厚度 金属碳化物纳米粒子 金属硫化物纳米粒子 光刻胶