一种二维材料微图案自动化转印设备及方法

本发明公开了一种二维材料微图案自动化转印设备及方法。包括机械臂、机械臂快换模组、滤膜架、视觉识别模块和控制模块；机械臂末端布置有能够在水平和竖直方向上运动的快换盘公盘，机械臂快换模组包括三个独立的功能模块，分别为滤膜‑掩模版吸附模块、滚压模块和翻转模块，每个功能模块均配置一个快换盘母盘，视觉识别模块包括两台工业相机，用于功能模块的定位，控制模块用于实现自动化转印设备的闭环反馈控制。本发明提出的方法操作简单、转移效率高且成本低，能够实现二维材料微图案的大面积、高精度、无缺陷转移，适用于多种二维材料和不同基底。