一种射频匹配器阻抗值的监测方法

本申请公开了一种射频匹配器阻抗值的监测方法，涉及射频设备领域。该方法包括：获取射频匹配器对应的实时数据和历史阻抗数据；通过膨胀因果卷积网络对时域信号进行特征提取，得到多尺度时域特征，以及通过注意力网络对频域功率谱进行特征提取，得到关键频段特征；对环境传感器数据进行卡尔曼滤波，得到环境传感器数据对应的多源数据特征，并对多尺度时域特征、关键频段特征和多源数据特征进行融合，得到融合特征；通过物理信息约束网络对融合特征进行阻抗值预测，得到阻抗初值，并通过记忆网络根据历史阻抗数据对阻抗初值进行修正，得到目标阻抗值。本申请深度学习架构融合多源传感数据与电磁物理规律，实现了复杂工况下的高精度实时阻抗监测。