一种固晶设备及方法

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一种固晶设备及方法
申请号:CN202510639701
申请日期:2025-05-19
公开号:CN120164828B
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种固晶设备及方法,固晶设备包括承载台以及安装于承载台内部的上料装置、下料装置、贴装装置、蘸胶装置、中转台装置及供晶装置;上料装置与下料装置相互平行设于承载台的相对两端,贴装装置设于上料装置的出料端与下料装置的进料端之间,蘸胶装置位于上料装置的一侧,且蘸胶装置与中转台装置分别设置在贴装装置的两侧,供晶装置位于中转台装置远离贴装装置的一侧;承载台的内部设有可活动的主绑头组件、第一绑头组件及第二绑头组件,主绑头组件设置在下料装置的一侧,第一绑头组件设置在上料装置的一侧,第二绑头组件设置在供晶装置的一侧。
技术关键词
转台装置 贴装装置 蘸胶装置 固晶设备 下料装置 上料装置 检测器 直线模组 工作台组件 承载台 物料台 固晶方法 顶升组件 承载组件 基板 识别芯片 阻挡组件 取放芯片