基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置

基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置，涉及功率半导体器件测试技术领域，获取当前实际应用场景下不同失效类型的各个关键应力因素的加速因子、各个关键应力因素之间的交互作用系数，获取各个失效类型的最佳应力因素叠加顺序，构建各个失效类型的测试内容流程序列；根据各失效类型的测试内容流程序列对当前类型功率半导体器件进行测试，获取性能指标；构建失效数据库，根据性能指标构建特征矩阵向量存储至失效数据库中；对失效数据库中各个特征矩阵向量进行统计分析，获取各个特征矩阵相关联的可靠性等级，根据失效数据库对性能指标进行可靠性评估，获取当前类型功率半导体器件的可靠性等级，显著提高测试效率和测试结果的准确性。