摘要
本发明公开了基于通焦扫描图像的尺寸测量方法、装置、设备及介质，涉及纳米器件测量技术领域。本发明的方法包括：根据待测纳米器件的先验形貌尺寸确定尺寸取值集合；建立尺寸取值集合中每个尺寸的仿真通焦扫描图像；对仿真通焦扫描图像进行主成分分解，得到主成分系数矩阵；根据尺寸取值集合与主成分系数矩阵建立回归矩阵；对待测纳米器件的实测通焦扫描图像进行主成分分解，得到实测主成分系数矩阵；根据回归矩阵对实测主成分系数矩阵进行逆向反演，得到测量结果。本发明有效解决了离焦图像噪声干扰问题，在精度、鲁棒性、效率等方面显著优化了TSOM方法的技术性能，为其在先进纳米制造中的规模化应用提供了关键支撑。
