一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法

本发明公开了一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法，包括确定将标定台阶放入激光干涉测量装置，移动反射镜距离获得干涉图像，处理所述干涉图像获得台阶面相位分布图，根据台阶边界确定计算点位置并计算台阶测量结果，根据台阶测量结果和台阶标定值偏差优化装置参数获得装置最优参数，构建台阶装置参数库，根据待测量台阶的台阶参数匹配台阶装置参数库中的装置最优参数获得参考装置参数并调整所述激光干涉测量装置，采用调整后激光干涉测量装置测量待测台阶获得台阶高度和台阶平面度。该方法可以及时准确地测量台阶高度及平面度，同时对于推动微纳制造领域高精度测量技术的发展具有重要意义。