一种基于智能优化算法的单晶炉拉晶工艺控制方法及系统

本发明涉及工艺优化控制技术领域，具体为一种基于智能优化算法的单晶炉拉晶工艺控制方法及系统；识别得到设备运行参数和过程状态变量；基于设备运行参数和过程状态变量，获得受控介质的状态估计值；依据工艺流程和设备运行参数，确定受控设备的目标操作参数；基于目标操作参数，结合系统动态响应特性，预估过程状态变量的期望变化，得到预测状态变量；根据设备运行参数、过程状态变量和状态估计值，计算介质分布参数；基于介质分布参数、目标操作参数与预测状态变量生成受控介质的状态预测值；综合状态估计值与状态预测值，并按照预设的调节规律，输出对调节执行结构的控制指令。本发明通过控制指令，实现受控介质的闭环调节。