基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备

本发明涉及一种基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备。该方法：采集多层光学膜在不同光照条件下的多帧图像，并对多帧图像进行预处理和特征值计算，得到特征值响应矩阵；根据特征值响应矩阵计算各帧图像的最优权重系数，并进行多帧图像特征融合，得到集成特征表示；对集成特征表示进行多尺度缺陷特征提取，得到缺陷候选区域；基于缺陷候选区域提取光谱响应特征，并将光谱响应特征与预设的波长‑膜厚映射关系矩阵进行匹配度计算，得到多层膜缺陷分布图；对多层膜缺陷分布图进行自回归预测和加工控制参数优化，得到闭环控制方案。本发明实现了不同膜层缺陷的精确识别与分类，进而实现了缺陷检测结果与制造参数优化的闭环控制。