一种基于MEMS器件的高精度超小型惯测组合

本发明提供了一种基于MEMS器件的高精度超小型惯测组合，涉及MEMS惯测组合技术领域。该惯测组合将三轴MEMS加速度计芯片与三只单轴MEMS陀螺仪芯片分别布置在刚性印制板上，将采集的角速度信息和加速度信息通过柔性印制板分别传输至处理器芯片所在的刚性印制板，处理器芯片内嵌的工作软件再按照系统误差模型将处理后的加速度信息和角速度信息通过对外电气接口输出。其通过上述方式形成无缆化的信息处理电路，能够解决在有限空间内的系统结构小型化问题、MEMS芯片低应力正交安装问题，使得MEMS器件进行信息交互，可有效提升惯测组合有限空间的利用率，无需预留电缆的安装空间，使得惯测组合达到小型化的效果。