一种用于激光器的高精度控温方法

本发明公开一种用于激光器的高精度控温方法，包括预测控温以及PID控温，预测控温是根据预设的控温模型控制冷媒流速，预设的控温模型是采用激光器的历史工作记录获得的样本集通过机器学习建立的；PID控温是以回流冷媒温度为反馈量，以所述冷媒流速为输出量的PID控制；当回流冷媒温度与控温模型的预期温度的差异小于预定值时，采用预测控温；当回流冷媒温度与控温模型的预期温度的差异大于预定值时，采用PID控温；激光器通过所述冷媒冷却，流入激光器的冷媒温度恒定。本发明采用恒定冷媒温度，预测控温和单PID控制冷媒流速的方式，无需协调水冷机的制冷功率无法与激光功率，并且能够自动调整PID控制参数，实现激光器温度的高精度控制。