摘要
本发明涉及集成电路可靠性技术领域,公开了一种MOS器件寿命预测方法、系统和电子设备,其中,一种MOS器件寿命预测方法包括:构建连续时间动力学模型,表达MOS器件退化过程;构建器件关系图结构,捕捉器件间空间相关性;执行多时间尺度分解,解析器件退化的时序特性;应用自适应数值求解算法,实现退化轨迹预测;实施物理约束正则化,提升模型的物理合理性。本发明通过融合图神经微分方程与多时间尺度分解技术,解决了现有技术中离散时间建模不足、器件间协同效应忽略、多尺度特性处理困难等问题,实现了对MOS器件寿命的高精度预测。