一种光谱仪系统及其制备方法

本发明提供一种光谱仪系统，包括光谱仪芯片，其包括相机和位于相机的探测面上的超表面；超表面包括多种纳米孔或纳米柱阵列，通过不同纳米孔或纳米柱产生的表面等离激元来分别实现对不同波长光的选择性吸收；相机检测待测光经过超表面的不同纳米孔或纳米柱阵列后的强度变化，进而解算得到光谱信息。本发明的光谱仪系统通过超表面实现对不同波长光的选择性吸收进而解算得到光谱信息，因此光谱仪系统的结构紧凑，整体体积很小；且由于纳米孔或纳米柱阵列产生的等离激元对其结构尺寸的容忍度高，因此加工精度更低，可以大面积、大批量的制备。