一种远程等离子源的点火控制方法

本发明公开了远程等离子源技术领域内的一种远程等离子源的点火控制方法，包括以下步骤：S1：设置气体电流激发阈值，通入激发气体；S2：判断是否接收到点火信号，若接收到则吸合继电器并进入恒流阶段；S3：判断系统点火是否正常，若不正常，则通过自学习式点火阈值校准方法来调整点火电压；S4：提高输出功率，期间通过点火阈值校准方法来调整点火电压；S5：输出功率到达满载功率时进入恒功率阶段；其中，自学习式点火阈值校准方法通过实时采集气体流量、气体压力、腔体温度，利用LSF‑BP模型预测当前负载阻抗值，并据此更新点火电压阈值。该方法根据运行情况动态调整点火阈值，可有效提升点火稳定性，减少设备损伤及维护成本。