摘要
本发明涉及工艺通信与网络技术领域，具体为一种划片机信息集中控制系统；包括数据采集单元、数字信号处理单元、运动控制单元、通信单元，其中：数据采集单元：用于采集划片机运行中的关键信号，通过高精度模数转换将模拟信号转为数字信号后传输至数字信号处理单元。本发明通过FPGA+DSP异构计算架构，结合变步长自适应滤波算法与轻量化神经网络模型，实现信号噪声抑制与刀具磨损、异常振动的状态的高效识别，并集成多轴伺服驱动、闭环反馈与动态误差补偿机制，利用热变形与齿隙误差模型在线修正控制指令，有效提升划片定位精度与稳定性，显著提升半导体加工的效率与良率，同时为高端制造装备的智能化、网络化升级提供了可复用的技术范式。
