基于神经网络的镀膜工艺自适应优化方法

本发明涉及表面镀膜传感器测试技术领域，具体公开了基于神经网络的镀膜工艺自适应优化方法，包括：搭建神经网络、训练神经网络、模拟、镀膜前准备、对样品进行镀膜、镀膜结束，清洗镀膜设备，发明通过软件控制将整体设备构成一个闭环系统，以压力为基准点对系统进行动态调整，此方法的核心在于控制薄膜的沉积速率，沉积速率过快会严重影响薄膜的质量，沉积速率较慢的情况下得到的薄膜，其质量往往都比较好，确保了薄膜的均匀性和高性能。