一种三维力测量的压电传感器电极结构与极化方法

本发明一种三维力测量的压电传感器电极结构与极化方法，属于机械臂触觉技术领域；包括依次叠层设置的下敏感层、隔离层、上层刚柔混合阵列，并通过封装结构密封；下敏感层由相互垂直设置的第一下敏感单元和第二下敏感单元构成，并共享第一中间敏感层；第一下敏感单元包括第一上电极及两个独立第一下电极，电极沿X轴方向错位排布；第二下敏感单元包括第二上电极及两个独立第二下电极，电极沿Y轴方向错位排布；上层刚柔混合阵列设置于隔离层上方，包括依次叠层设置的第三下电极、第二中间敏感层、分布式上电极及刚柱；封装结构包括下表面封装层和上表面封装层，用于密封传感器。本发明解决了现有传感器无法同时测量三维力且存在干扰的问题。