一种高绝缘高热散高集成的集成电路封装制作方法

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一种高绝缘高热散高集成的集成电路封装制作方法
申请号:CN202510766595
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120545190A
公开日期:2025-08-26
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种高绝缘高热散高集成的集成电路封装制作方法,它包括以下步骤;(1)、减薄;选取对应的晶圆,对其背面进行打磨,使得整个晶圆的厚度达到所需要的厚度;(2)、绷膜;将打磨好的晶圆的正面贴附上膜片;(3)、划片;(4)、粘陶瓷基板;(5)、无氧烘烤;(6)、粘片;(7)、烘烤:(8)、压焊;(9)、塑封;(10)、固化;(11)、电镀;(12)、打印;(13)、成型;(14)、随后对芯片封装体进行最终测试,测试验收合格之后,即可正常进行打包工序。它可以将多个芯片通过第一粘结剂粘结在陶瓷基板上。
技术关键词
集成电路封装 陶瓷基板 高绝缘 引线框架 粘结剂 芯片封装体 切筋成型系统 稀土氧化物 硅酸盐含量 环氧模塑料 导热胶 金属线 氧化镁 铜箔表面 焊接金属 塑封机 添加剂 图案 表面镀