基于迭代相位恢复算法的光学元件表面缺陷深度检测方法及系统

本发明公开了一种基于迭代相位恢复算法的光学元件表面缺陷深度检测方法及系统，涉及光学元件表面缺陷深度检测领域，所述系统包括：成像模块和控制模块：成像模块用于获取样本的聚焦强度图像和散焦强度图像；控制模块用于采用基于迭代相位恢复算法的光学元件表面缺陷深度检测方法根据样本的聚焦强度图像和散焦强度图像实现缺陷深度检测。本发明能够快速得到准确的深度检测结果。