利用飞秒激光在蓝宝石中制备短波长类Ⅰ型波导的方法及其应用

本发明公开了利用飞秒激光在蓝宝石中制备短波长类Ⅰ型波导的方法及其应用，属于激光加工技术领域，包括：步骤一：狭缝整形得到圆形分布的三维光焦场；步骤二：狭缝整形得到圆形分布的三维光焦场；步骤三：制备短波长类Ⅰ型波导；该方法采用狭缝整形技术实现光束整形，对加工光斑进行调整，调控波导截面，直接在蓝宝石内部诱导出特定的折射率变化，使得波导的导光区域仅限于加工轨迹的正下方，通过单修饰线，实现最短波长达405nm波导的制备。该方法的制备工艺简单高效，可靠性高，制备出的波导结构紧凑，将有助于大幅度提高飞秒激光直写光子芯片的集成度。