一种应变-温度-压力多模态柔性传感器件及其制备方法

本发明提供了一种应变‑温度‑压力多模态柔性传感器件及其制备方法。本发明的柔性传感器件，包括：柔软衬底、应变层、压敏层、温敏层、基底；应变层为蜘蛛网状的导电体，既可用于应变传感，又可用作压力传感结构的下电极；压敏层为在按压状态下具有良好导电性的负载碳纳米管和热塑性聚氨酯的海绵，海绵结构致密且孔径小，因此具有优秀的弹性模量，从而具备宽的压力检测范围；温敏层为具有正导电系数特性的油墨层，其既可用作温度传感又可用作压力传感结构的下电极；本发明的器件能够实现应变、温度和压力三种物理参数的监测，成功将多参量感知能力融合于单一器件中，以提升器件的交互能力和检测维度，强化其在健康监测与智能穿戴等领域的适用性。