一种蓝宝石晶棒应力检测系统及检测方法

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一种蓝宝石晶棒应力检测系统及检测方法
申请号:CN202510822498
申请日期:2025-06-19
公开号:CN120352427A
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种蓝宝石晶棒应力检测系统及检测方法,该检测系统包括晶棒搬运模块、视频采集模块、识别模块及数据记录终端,该检测方法包括以下步骤:机械手抓取晶棒、相机及移动模组启动、“弓”字形拍摄、倒“弓”字形拍摄、相机及移动模组返回、机械手放置晶棒;该检测方法还涉及一种应力识别方法,包括以下步骤:ROI定位、形态学分析、确定应力类型和量化等级、计算应力坐标,将应力划分为晶界(X)与扭曲(N)两种类型,X1、X2和N0、N1、N2五个量化等级。该检测系统及检测方法可以广泛应用于蓝宝石晶棒检测领域,实现多尺寸(2‑8英寸)蓝宝石晶棒应力的精确、快速、自动化、全覆盖识别,显著提升检测可靠性、检测效率和质量管理效率。
技术关键词
应力检测系统 移动模组 蓝宝石晶棒端面 应力检测方法 数据记录终端 应力仪 视频采集模块 机械手 相机 控制单元 识别模块 搬运模块 视频录制功能 解析方法 电磁耦合方式 缺陷检测算法 深度学习架构