一种OPA接收天线芯片

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一种OPA接收天线芯片
申请号:CN202510835202
申请日期:2025-06-20
公开号:CN120652609A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
一种OPA接收天线芯片,属于光学相控阵天线技术领域,解决如何提高现有技术中硅基光学相控阵天线接收效率低的问题,光栅波导阵列层与波导传输层构成平板光栅接收传输结构,芯片接收的入射光经过平板波导,光栅波导阵列层对平板波导产生周期性的折射率扰动,芯片接收的入射光经过平板波导时,其一级衍射的光会沿着平板波导进行传输,再经过锥形波导传输进超晶格波导中,最后由超晶格波导输出;本发明通过平板光栅接收传输结构,芯片能够高效接收入射光并传输至超晶格波导输出,实现100%占空比,显著提高光耦合效率和接收光功率;超晶格波导和绝热锥形波导结构有效降低传输损耗和光场串扰。
技术关键词
平板波导 波导阵列 光学相控阵天线 平板光栅 芯片 传输结构 衬底层 绝热锥形波导 二氧化硅 周期性 光功率 氮化硅 损耗 间距