一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置

本发明属于远程等离子源技术领域，提供了一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置，方法包括：获取石英腔体的气泡数据；基于随机森林算法获取工艺参数对于各气泡数据的重要性度；综合各气泡数据获得耦合重要性度；建立关于气泡数量M与气泡最大直径D的误差目标函数，对隶属度权值进行优化更新；将优化后的隶属度权值与对应的初始值进行比较，获得单位时间的各工艺参数变化率；根据气泡数量M与气泡最大直径D的误差率大小关系，依据工艺参数变化率对工艺进行动态优化。本发明基于随机森林评估出各工艺参数的重要性度，根据检测气泡的状态优化工艺参数，能够减少石英腔体颗粒对制程腔室的污染，提高远程等离子源的使用寿命。