探针控制方法、设备及存储介质

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探针控制方法、设备及存储介质
申请号:CN202510839155
申请日期:2025-06-23
公开号:CN120352665A
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种探针控制方法、设备及存储介质,涉及芯片检测技术领域。本申请通过多组样本扎针深度以及对应的样本压力数据预先拟合得到第一函数关系作为标定值,使得在实际应用中直接输入指定的扎针深度至第一函数关系即可确定出对应的压力目标值,进而使得在探针从目标芯片的表面扎入目标芯片内的过程中,用户只需要关注实时压力数据是否达到计算所得的压力目标值即可,兼顾便捷性的同时保证了扎针深度的准确性,提高了检测效率。
技术关键词
数据 压力传感器 样本 固线设备 晶圆测试设备 控制设备 芯片检测技术 关系 探针座 载物台 处理器 可读存储介质 线缆 采样点 存储器 计算机