偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机

本发明提供一种偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机，涉及偏振照明技术领域。所述方法包括获取光刻机系统对应的穆勒矩阵序列和环境参数序列，所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列的时序是对齐的；对所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列分别进行特征提取并将同一时序的特征进行组合，得到特征张量序列；根据所述特征张量序列确定目标补偿参数，所述目标补偿参数用于对所述光刻机系统的偏振像差进行补偿。该方法能够提升获取偏振像差补偿参数的准确性，从而进一步提升系统整体补偿准确率与成像精度。